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非晶含氢碳薄膜本征结构对退火行为的影响 期刊论文
表面技术, 2022, 卷号: 51, 期号: 7, 页码: 98-106
Authors:  贾倩;  张斌;  赖振国
Adobe PDF(2035Kb)  |  Favorite  |  View/Download：17/0  |  Submit date：2023/12/08
非晶含氢碳薄膜  退火  双极脉冲  直流脉冲  等离子体增强化学气相沉积  
利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术 期刊论文
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
Authors:  魏徐兵;  尚伦霖;  鲁志斌;  张广安
Adobe PDF(7668Kb)  |  Favorite  |  View/Download：120/2  |  Submit date：2020/11/30
等离子体增强化学气相沉积  超厚类金刚石碳膜  快速沉积  耐磨损  耐腐蚀  
Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 531-537
Authors:  王军军;  蒲吉斌;  张广安;  王立平
Adobe PDF(946Kb)  |  Favorite  |  View/Download：242/1  |  Submit date：2014/12/30
类金刚石薄膜  等离子体化学气相沉积  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Films  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition  Tribological Property  
利用气相沉积法在模板中制备 TiO2 纳米管的研究 期刊论文
西北师范大学学报(自然科学版), 2008, 卷号: 44, 期号: 3, 页码: 50-53
Authors:  张亚男;  陈淼;  梁山;  刘志鲁
Adobe PDF(1387Kb)  |  Favorite  |  View/Download：197/1  |  Submit date：2013/03/28
四氯化钛  气相沉积  多孔阳极氧化铝模板  Tio2 纳米管  Ticl4  Vapor Deposition  Porous Anodic Alumina Template  Tio2 Nanotubule  
直流负偏压对类金刚石薄膜结构的影响 期刊论文
化学研究, 2005, 卷号: 16, 期号: 1, 页码: 35-38
Authors:  常海波;  徐洮;  张治军;  刘惠文
Adobe PDF(350Kb)  |  Favorite  |  View/Download：68/0  |  Submit date：2014/03/03
直流负偏压  类金刚石薄膜  等离子体  气相沉积  Dc Negative Bias  Diamond-like Carbon Films  Plasma  Vapor Deposition  
用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2005, 卷号: 25, 期号: 4, 页码: 298-302
Authors:  常海波;  徐洮;  李红轩;  张治军;  刘惠文
Adobe PDF(212Kb)  |  Favorite  |  View/Download：103/1  |  Submit date：2014/03/03
等离子体增强化学气相沉积  类金刚石碳薄膜  结构  摩擦磨损性能  Pecvd  Dlc Film  Structure  Friction And Wear Behavior  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
Adobe PDF(291Kb)  |  Favorite  |  View/Download：121/1  |  Submit date：2014/03/03
等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties  
摩擦副材料对非晶含氢碳薄膜摩擦学性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 483-487
Authors:  李红轩;  徐洮;  郝俊英;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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非晶含氢碳膜  等离子体增强化学气相沉积  摩擦偶件材料  摩擦学性能  
类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展 期刊论文
材料科学与工程学报, 2004, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 774-777
Authors:  李振军;  徐洮;  李红轩;  郝俊英;  周惠娣;  陈建敏
Adobe PDF(134Kb)  |  Favorite  |  View/Download：253/3  |  Submit date：2014/12/23
类金刚石薄膜  摩擦学特性  磨损机制  化学气相沉积  
工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响 期刊论文
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62
Authors:  张平余;  刘洪;  丛秋滋;  张绪寿;  王秀娥;  顾则鸣
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等离子体增强化学气相沉积  Tin镀层  物理机械性能  摩擦学性能  晶体学特征  沉积参数  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)  Tin coaTing  Physic-mechanical Properties  Tribological Characteristic  Crystallinity  Deposition Parameters