| 用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
常海波; 徐洮; 李红轩 ; 张治军; 刘惠文
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| 2005 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 25Issue:4Pages:298-302 |
| Abstract | 利用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积类金刚石碳薄膜, 采用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行表征, 采用纳米压痕仪测定薄膜的硬度, 并用UM T 型微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同试验条件下的摩擦磨损性能. 结果表明: 所制备的类金刚石碳薄膜表面光滑致密且硬度较高; 在干摩擦条件下与GCr15 钢球或Al2O3 球配副时显示出良好的减摩抗磨性能, 摩擦系数较低, 耐磨寿命较长, 而在水润滑条件下同Al2O3 球配副时发生灾难性磨损. |
| Keyword | 等离子体增强化学气相沉积 类金刚石碳薄膜 结构 摩擦磨损性能 Pecvd Dlc Film Structure Friction And Wear Behavior |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家“863”计划资助项目(2002AA302607) |
| Indexed By | EI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 先进固体润滑膜组 |
| Citation statistics |
Cited Times:4[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5187 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 张治军 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 常海波,徐洮,李红轩,等. 用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2005,25(4):298-302. |
| APA | 常海波,徐洮,李红轩,张治军,&刘惠文.(2005).用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,25(4),298-302. |
| MLA | 常海波,et al."用等离子体增强化学气相沉积技术制备类金刚石碳薄膜的摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 25.4(2005):298-302. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2005-298-302.PDF（212KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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