| 射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
李红轩 ; 徐洮; 陈建敏; 周惠娣; 刘惠文
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| 2005 | |
| Source Publication | 物理学报
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| ISSN | 1000-3290 |
| Volume | 54Issue:4Pages:1885-1889 |
| Abstract | 利用直流-射频-等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了类金刚石薄膜,采用原子力显微镜、Raman 光谱、x 射线光电子能谱、红外光谱和纳米压痕仪考察了射频功率对类金刚石薄膜表面形貌、微观结构、硬度和弹性模量的影响. 结果表明, 制备的薄膜具有典型的含H 类金刚石结构特征, 薄膜致密均匀, 表面粗糙度很小. 随着射频功率的升高, 薄膜中成键H 的含量逐渐降低, 而薄膜的sp3 含量、硬度以及弹性模量先升高, 后降低, 并在射频功率为100 W时达到最大. |
| Keyword | 等离子增强化学气相沉积 类金刚石薄膜 射频功率 结构和性能 Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition Diamond-like Carbon Films Rf Power Structure And Properties |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(批准号:59925513;50323007);国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA305670);中国科学院“百人计划” |
| Indexed By | SCI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 先进固体润滑膜组 ; 磨损和表面工程组 |
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5108 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Corresponding Author | 陈建敏 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 李红轩,徐洮,陈建敏,等. 射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响[J]. 物理学报,2005,54(4):1885-1889. |
| APA | 李红轩,徐洮,陈建敏,周惠娣,&刘惠文.(2005).射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响.物理学报,54(4),1885-1889. |
| MLA | 李红轩,et al."射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响".物理学报 54.4(2005):1885-1889. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2005-1885-1889.PDF（291KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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