| 利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
魏徐兵1,2; 尚伦霖1; 鲁志斌1,2 ; 张广安1,2
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| The second department | 低维润滑材料研究组 |
| 2020-10 | |
| Source Publication | 真空与低温
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| Volume | 26Issue:5Pages:402-409 |
| Keyword | 等离子体增强化学气相沉积 超厚类金刚石碳膜 快速沉积 耐磨损 耐腐蚀 |
| If | 0 |
| Language | 中文 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/26863 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 张广安 |
| Affiliation | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 2.中国科学院大学 |
| Corresponding Author Affilication | Lanzhou Institute of Chemical Physics，Chinese Academy of Sciences |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 魏徐兵,尚伦霖,鲁志斌,等. 利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术[J]. 真空与低温,2020,26(5):402-409. |
| APA | 魏徐兵,尚伦霖,鲁志斌,&张广安.(2020).利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术.真空与低温,26(5),402-409. |
| MLA | 魏徐兵,et al."利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术".真空与低温 26.5(2020):402-409. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 16-魏徐兵-真空与低温-利用PECVD（7668KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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