| Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
王军军; 蒲吉斌 ; 张广安; 王立平
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| 2014 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 34Issue:5Pages:531-537 |
| Abstract | 本文中利用等离子体化学气相沉积法，制备了具有Si过渡层的DLC薄膜．利用俄歇深度分析的方法，研究了Si过渡层沉积条件如电压、气压和气源对Si过渡层的影响；利用薄膜应力分布测试仪和划痕仪，研究了不同沉积条件下制备的Ｓｉ过渡层对类金刚石薄膜内应力和附着力特性的影响；利用摩擦磨损仪，分析比较了薄膜的摩擦性能．研究表明：DLC薄膜与基底之间形成(Fe+Si+O混合层)/Si/(Si+O混合层)过渡层．过渡层制备过程中，气压、电压和Ar/SiH4比例升高，会导致过渡层中Si层厚度的减小．这种过渡层在一定范围内提高了DLC薄膜与基体之间的结合力，缓解了因薄膜与基底间不匹配而产生的应力．在大气环境下，优化的DLC薄膜与GCr15钢对偶的摩擦系数及磨损率可低至0.02和8.2×10-14 m3/(N·m). |
| Keyword | 类金刚石薄膜 等离子体化学气相沉积 摩擦学性能 Diamond-like Carbon Films Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Tribological Property |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(11172300) |
| Indexed By | EI&CSCD |
| If | 0.7097(CSCD-JCR) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 低维材料摩擦学组 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/7091 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 王立平 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王军军,蒲吉斌,张广安,等. Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究[J]. 摩擦学学报,2014,34(5):531-537. |
| APA | 王军军,蒲吉斌,张广安,&王立平.(2014).Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究.摩擦学学报,34(5),531-537. |
| MLA | 王军军,et al."Si过渡层类金刚石薄膜界面优化及其性能研究".摩擦学学报 34.5(2014):531-537. |
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| 摩擦学学报-王军军.pdf（946KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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