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| Properties of a-C:H:Si thin films deposited by middle-frequency magnetron sputtering 期刊论文
Applied Surface Science, 2016, 卷号: 379, 页码: 516-522
Authors: Jiang JL(姜金龙); Wang, Yubao; Du, Jinfang; Yang, Hua; Hao JY(郝俊英) ; Jiang JL(姜金龙); Hao JY(郝俊英)
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A-c:h:Si Films Magnetron Sputtering Structure Tribological Properties |
| 甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
Authors: 姜金龙; 陈娣; 王琼; 黄浩; 朱维君; 郝俊英
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A-c:h Films Middle-frequency Magnetron Sputtering Mechanical Property Tribological Property A-c:H薄膜 中频磁控溅射 力学性能 摩擦性能 |
| 纳米复合含氢非晶碳薄膜的制备、结构与性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors: 刘小强
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磁控溅射 含氢非晶碳薄膜 掺杂技术 纳米结构 超低摩擦 Magnetron Sputtering Hydrogneated Amorphous Carbon Film Doping Technique Nanostructure Superlow Friction |
| 物理气相沉积纳米多层摩擦学薄膜制备、结构及性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors: 胡明
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磁控溅射 纳米多层薄膜 力学性能 摩擦学性能 耐原子氧性能 Magnetron Sputtering Nanoscale Multilayer Films Mechanical Properties Tribological Properties Ao Resistance Properties |
| 钛硅共掺杂类金刚石碳膜的设计、制备及其超低摩擦性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors: 姜金龙
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类金刚石碳膜 钛硅共掺杂 协同作用 微结构 超低摩擦 Diamond-like Carbon Film Tisi Co-doping Synergistic Effects Microstructures Superlow Friction |
| Ti-Al-C系纳米复合薄膜的设计、制备及摩擦学性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
Authors: 逄显娟
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类金刚石薄膜 纳米复合 结构 机械性能 摩擦学性能 Diamond-like Carbon Film Nanocomposite Structure Mechanical Properties Tribological Properties |
| 碳基纳米复合薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
Authors: 王鹏
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类金刚石薄膜 功能梯度 纳米复合 类富勒烯碳膜 力学性能 摩擦学性能 Diamond-like Carbon Film Functional Gradient Layer Nanocomposite Fullerene-like Carbon Film Mechanical Properties Tribological Properties |
| The effect of applied negative bias voltage on the structure of Ti-doped a-C:H films deposited by FCVA 期刊论文
Applied Surface Science, 2007, 卷号: 253, 页码: 3722-3726
Authors: Wang P(王鹏); Wang X(王霞); Chen YM(陈友明); Zhang GA(张广安); Liu WM(刘维民); Zhang JY(张俊彦)
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Hydrogenated Amorphous Carbon (A-c:h) Films Applied Bias Voltage Filtered Cathodic Vacuum Arc (Fcva) |
| Comparing internal stress in diamond-like carbon films with different structure 期刊论文
Thin Solid Films, 2007, 卷号: 515, 页码: 6899-6903
Authors: Wang P(王鹏); Wang X(王霞); Xu T(徐洮); Liu WM(刘维民); Zhang JY(张俊彦)
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Dlc Films Internal Stress Ti-interlayer Ti-doping Functional Gradient |
| 等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2006
Authors: 郝俊英
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A-cnxh 薄膜 Pecvd 硬度 弹性模量 耐热耐蚀性 摩擦磨损行为 A-cnxh Films Hardness And Elastic Modulus Thermal Stability And Corrosion-resistant Properties Friction And Wear Behavior |
