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一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544722.9, 申请日期: 2017-04-26, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  王德生;  胡明;  杨军;  刘维民;  翁立军;  孙嘉奕;  伏彦龙;  高晓明;  姜栋
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一种CrN/Cr/Si3N4/Cr多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310544712.5, 申请日期: 2017-03-29, 公开日期: 2015-05-20
Inventors:  胡明;  伏彦龙;  刘维民;  翁立军;  杨军;  王德生;  高晓明;  姜栋;  孙嘉奕
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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35
Authors:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军;  翁立军;  刘维民
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Zrn/α-sinx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能  Zrn/α-sinx Nanoscaled Multilayer Films  Bias Voltage  Mirostructure  Mechanical And Tribological Properties  
中频磁控溅射制备不同S/W 原子比WSx薄膜的结构和摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 507-513
Authors:  徐书生;  高晓明;  胡明;  孙嘉奕;  翁立军;  刘维民
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中频磁控溅射  Wsx薄膜  S/w原子比  摩擦磨损  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Wsx Film  S/w Ratio  Friction And Wear  
低温沉积Cu膜的晶体结构及摩擦磨损性能的初步研究 期刊论文
摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 4, 页码: 308-311
Authors:  高晓明;  孙嘉奕;  胡明;  翁立军;  刘维民
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Cu膜  低温沉积  择优取向  摩擦磨损性能  Cu Films  Low Temperature Deposition  Preferred Orientation  Friction And Wear Properties  
沉积温度及膜厚对离子镀银膜结构及摩擦学性能的影响 期刊论文
机械工程材料, 2007, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 11-14
Authors:  高晓明;  孙嘉奕;  胡明;  翁立军;  刘维民
Adobe PDF(711Kb)  |  Favorite  |  View/Download：313/6  |  Submit date：2013/11/01
银膜  膜厚  基体温度  结构  摩擦磨损  Ag Film  Film Thickness  Deposition Temperture  Structure  Friction And Wear