| 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法 | |
王德生 ; 胡明; 杨军; 刘维民; 翁立军; 孙嘉奕; 伏彦龙; 高晓明; 姜栋
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| 2017-04-26 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2015-05-20 |
| Country | 中国 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| The second department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2013-11-07 |
| Patent Number | 201310544722.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN104630725A |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/22910 |
| Collection | 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王德生,胡明,杨军,等. 一种TiN/Ti/Si/Ti多层耐磨耐蚀薄膜材料及其制备方法. 201310544722.9[P]. 2017-04-26. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2013105447229.pdf（497KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | ||
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