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基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35
Authors:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军;  翁立军;  刘维民
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Zrn/α-sinx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能  Zrn/α-sinx Nanoscaled Multilayer Films  Bias Voltage  Mirostructure  Mechanical And Tribological Properties  
物理气相沉积纳米多层摩擦学薄膜制备、结构及性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2012
Authors:  胡明
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磁控溅射  纳米多层薄膜  力学性能  摩擦学性能  耐原子氧性能  Magnetron Sputtering  Nanoscale Multilayer Films  Mechanical Properties  Tribological Properties  Ao Resistance Properties