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| 甲烷流量对中频磁控溅射制备TiSi-C:H薄膜生长和性能的影响(英文) 期刊论文
稀有金属材料与工程, 2014, 卷号: 43, 期号: 10, 页码: 2305-2310
Authors: 姜金龙; 陈娣; 王琼; 黄浩; 朱维君; 郝俊英
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A-c:h Films Middle-frequency Magnetron Sputtering Mechanical Property Tribological Property A-c:H薄膜 中频磁控溅射 力学性能 摩擦性能 |
| 钨铝共掺杂含氢非晶碳薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors: 龚秋雨
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含氢非晶碳薄膜 中频磁控溅射 共掺杂 结合强度 摩擦与磨损 Hydrogenated Amorphous Carbon Films Medium Frequency Magnetron Sputtering Co-doping Adhesion Strength Friction And Wear |
| 中频磁控溅射制备ａ－Ｃ∶Ｈ（Ａｌ，Ｗ） 薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 摩擦学学报, 2013, 2013, 卷号: 33, 33, 期号: 6, 页码: 556-564, 556-564
Authors: 龚秋雨; 郝俊英; 刘小强; 刘维民
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中频磁控溅射 中频磁控溅射 摩擦磨损 Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ 摩擦磨损 Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ 力学性能 Ｗ）薄膜 力学性能 Ｗ）薄膜 Medium Frequency Magnetron Sputtering Medium Frequency Magnetron Sputtering Friction And Wear Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ Friction And Wear Ａ－ｃ∶ｈ（ａｌ Mechanical Properties Ｗ）films Mechanical Properties Ｗ）films |
| 钛硅多元掺杂类金刚石薄膜在不同气氛环境下的摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 456-462
Authors: 姜金龙; 黄浩; 陈娣; 王琼; 冯旺军; 郝俊英
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类金刚石薄膜 多元掺杂 中频磁控溅射 气氛环境 摩擦学性能 Diamond-like Carbon Film Multi-elements Doping Mf Magnetron Sputtering Atmosphere Environment Tribological Property |
| 中频磁控溅射制备不同S/W 原子比WSx薄膜的结构和摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 507-513
Authors: 徐书生; 高晓明; 胡明; 孙嘉奕; 翁立军; 刘维民
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中频磁控溅射 Wsx薄膜 S/w原子比 摩擦磨损 Medium Frequency Magnetron Sputtering Wsx Film S/w Ratio Friction And Wear |
| 磁控溅射沉积BCN薄膜结构及其在离子液体润滑下的摩擦磨损性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
Authors: 陈友明
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Bcn薄膜 中频磁控溅射 微观结构 离子液体润滑 摩擦磨损行为 Bcn Film Medium Frequency Magnetron Sputtering Microstructure Ionic Liquids Lubricant Friction And Wear Behavior |
| 中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 118-122
Authors: 张广安; 王鹏; 陈友明; 王霞; 阎鹏勋; 张俊彦
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中频磁控溅射 Al-dlc薄膜 摩擦磨损性能 Medium Frequency Magnetron Sputtering Al-dlc Thin Films Tribological Properties |
