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直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85-90
Authors:  郑建云;  郝俊英;  刘小强;  龚秋雨;  刘维民
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直流磁控溅射  Tialcn薄膜  微观结构  硬度  摩擦行为  Direct Current Magnetron Sputtering  Tialcn Films  Microstructure  Hardness  Tribological Behaviours  
基体偏压对反应磁控溅射ZrN/α-SiNx纳米多层薄膜结构及性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 29-35
Authors:  胡明;  高晓明;  张立平;  伏彦龙;  杨军;  翁立军;  刘维民
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Zrn/α-sinx纳米多层薄膜  基体偏压  微观结构  机械及摩擦学性能  Zrn/α-sinx Nanoscaled Multilayer Films  Bias Voltage  Mirostructure  Mechanical And Tribological Properties