| 直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
郑建云 ; 郝俊英; 刘小强; 龚秋雨; 刘维民
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| 2013 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 33Issue:1Pages:85-90 |
| Abstract | 采用直流磁控溅射技术制备TiAlCN薄膜，研究了直流电流对TiAlCN薄膜的薄膜成分、微观结构、机械性能和摩擦性能的影响．研究表明：随着直流电流的增加，薄膜中C元素含量逐渐降低；薄膜中无定形碳含量减少，而(Ti,Al)CxN1-x晶粒增加．另外，在低于3.0 A直流电流范围内薄膜的表面粗糙度无明显变化，而当直流电流高于3.0 A时，薄膜的表面粗糙度随直流电流的增加而显著上升．随着直流电流的增大，薄膜的硬度先增加后降低，而薄膜的摩擦系数则先降低后升高．在直流电流为3.5 A时，薄膜的硬度和摩擦系数分别约为22.2 GPa和0.16． |
| Keyword | 直流磁控溅射 Tialcn薄膜 微观结构 硬度 摩擦行为 Direct Current Magnetron Sputtering Tialcn Films Microstructure Hardness Tribological Behaviours |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(50905177) |
| Indexed By | EI&CSCD |
| If | 0.6546(CSCD-JCR) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 空间润滑材料组 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/4768 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 郝俊英 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 郑建云,郝俊英,刘小强,等. 直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究[J]. 摩擦学学报,2013,33(1):85-90. |
| APA | 郑建云,郝俊英,刘小强,龚秋雨,&刘维民.(2013).直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究.摩擦学学报,33(1),85-90. |
| MLA | 郑建云,et al."直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究".摩擦学学报 33.1(2013):85-90. |
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| 直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能（797KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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