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利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术 期刊论文
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
Authors:  魏徐兵;  尚伦霖;  鲁志斌;  张广安
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等离子体增强化学气相沉积  超厚类金刚石碳膜  快速沉积  耐磨损  耐腐蚀  
钛硅共掺杂类金刚石碳膜的设计、制备及其超低摩擦性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  姜金龙
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类金刚石碳膜  钛硅共掺杂  协同作用  微结构  超低摩擦  Diamond-like Carbon Film  Tisi Co-doping  Synergistic Effects  Microstructures  Superlow Friction