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Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness  
非平衡磁控溅射制备类石墨碳膜及性能研究 期刊论文
物理学报, 2012, 卷号: 61, 期号: 5, 页码: 056103(1-7)
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
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磁控溅射  类石墨碳膜  微观结构  性能  Magnetron Sputtering  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Performance  
非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能 期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 3, 页码: 17-22
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
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类石墨碳膜  磁控溅射  摩擦磨损  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Tribological Properties  
PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究 期刊论文
真空, 2006, 卷号: 43, 期号: 1, 页码: 47-50
Authors:  常海波;  徐洮;  李红轩;  张治军;  刘惠文
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Pecvd  类金刚石薄膜  结构  摩擦学性能  Diamond-like Carbon (Dlc) Films  Microstructure  Tribological Properities