| 非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
王永军; 李红轩 ; 吉利; 刘晓红; 吴艳霞; 周惠娣; 陈建敏
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| 2011 | |
| Source Publication | 中国表面工程
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| ISSN | 1007-9289 |
| Volume | 24Issue:3Pages:17-22 |
| Abstract | 利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅基底上沉积了类石墨非晶碳膜 利用X射线光电子光谱Raman光谱 高分辨透射电子显微镜及原子力显微镜对沉积薄膜的微观结构进行了详细表征; 利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机分别对其力学性能和摩擦学性能进行了测试 结果表明，当前制备的非晶碳膜中 sp2杂化碳占主导呈现出类石墨特征，但薄膜硬度可达14.2 GPa 大气环境中的摩擦性能测试表明，所制备的类石墨非晶薄膜具有优异的摩擦学性能: 其承载能力高达2.8 GPa，同时具有较低摩擦因数(～0.05)和磨损率(～10-11 cm3/Nm). 类石墨碳膜优异的摩擦学性能主要归因于其独特的结构 较低的内应力及良好的热稳定性. |
| Keyword | 类石墨碳膜 磁控溅射 摩擦磨损 Graphite-like Carbon Film Microstructure Tribological Properties |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(50705093，50575217);创新群体基金(50421502);国家973计划(2007 CB607601) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/937 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王永军,李红轩,吉利,等. 非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能[J]. 中国表面工程,2011,24(3):17-22. |
| APA | 王永军.,李红轩.,吉利.,刘晓红.,吴艳霞.,...&陈建敏.(2011).非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能.中国表面工程,24(3),17-22. |
| MLA | 王永军,et al."非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能".中国表面工程 24.3(2011):17-22. |
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| 2011-17-22.PDF（1483KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
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