| PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
常海波; 徐洮; 李红轩 ; 张治军; 刘惠文
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| 2006 | |
| Source Publication | 真空
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| ISSN | 1002-0322 |
| Volume | 43Issue:1Pages:47-50 |
| Abstract | 采用射频-直流等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅衬底上沉积了类金刚石薄膜。用激光拉曼光谱仪和原子力显微镜对薄膜的结构和表面形貌进行了表征, 并用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度。用UMT 微摩擦磨损试验机考察了薄膜在不同的滑行速度下薄膜的摩擦学性能。结果表明: 所沉积的薄膜具有典型类金刚石薄膜的结构特征, 薄膜表面光滑致密, 硬度较高; 薄膜与氧化铝陶瓷球对磨显示出良好的摩擦学性能, 随着滑行速度的增加, 薄膜的摩擦系数单调降低, 但磨损寿命先增加后降低。 |
| Keyword | Pecvd 类金刚石薄膜 结构 摩擦学性能 Diamond-like Carbon (Dlc) Films Microstructure Tribological Properities |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家“863”计划资助项目(2002AA302607) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 先进固体润滑膜组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/5097 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 常海波,徐洮,李红轩,等. PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究[J]. 真空,2006,43(1):47-50. |
| APA | 常海波,徐洮,李红轩,张治军,&刘惠文.(2006).PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究.真空,43(1),47-50. |
| MLA | 常海波,et al."PECVD法制备类金刚石薄膜的结构和摩擦学性能研究".真空 43.1(2006):47-50. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2006-47-50.pdf（323KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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