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Synthesis and characterization of quaternary Ti-Si-C-N film deposited by middle frequency magnetron sputtering 期刊论文
Advanced Materials Research, 2012, 卷号: 581-582, 页码: 540-543
Authors:  Jiang JL(姜金龙);  Chen D(陈娣);  Zhu WJ(朱伟君);  Jiang JL(姜金龙)
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Ti-si-c-n Films  Microstructure  Mf Magnetron Sputtering  
a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究 期刊论文
功能材料, 2012, 卷号: 43, 期号: 3, 页码: 313-316
Authors:  吴艳霞;  李红轩;  吉利;  冶银平;  孙晓军;  陈建敏;  周惠娣
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磁控溅射  A-c∶h 膜  真空度  摩擦学性能  Magnetron Sputtering  A-c∶h Film  Vacuum Degree  Tribological Property  
磁控溅射 Al 靶功率对类金刚石薄膜结构和摩擦学性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 3, 页码: 304-309
Authors:  周升国;  王立平;  薛群基
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磁控溅射  Al/a-c:h  纳米复合薄膜  摩擦学性能  Magnetron Sputtering  Nanocomposite  Tribological Property  
中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 118-122
Authors:  张广安;  王鹏;  陈友明;  王霞;  阎鹏勋;  张俊彦
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中频磁控溅射  Al-dlc薄膜  摩擦磨损性能  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Al-dlc Thin Films  Tribological Properties  
Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 204-209
Authors:  张广安;  吴志国;  王明旭;  范晓彦;  王君;  阎鹏勋
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磁控溅射  Al/aln多层膜  摩擦磨损性能  Magnetron Sputtering  Al/aln Multilayer  Friction And Wear Behavior