| a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究 | |
| Department | 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
吴艳霞 ; 李红轩; 吉利; 冶银平; 孙晓军; 陈建敏; 周惠娣
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| 2012 | |
| Source Publication | 功能材料
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| ISSN | 1001-9731 |
| Volume | 43Issue:3Pages:313-316 |
| Abstract | 采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢及Sip(111)基体上制备了含氢无定形碳(a-C∶H) 薄膜，沉积的薄膜表面光滑，硬度高，内应力小，膜/基结合力好。利用球-盘摩擦实验机对薄膜在不同真空度(1.0×105、5.0×10-2、1.0×10-2、5.0×10-3 Pa)下的摩擦学行为进行了研究，结果表明，随着真空度的升高，薄膜的摩擦系数逐渐减小，磨损率逐渐增大。在 5.0×10-3 Pa 时，a-C∶H 膜的摩擦学行为发生突变，此时薄膜的摩擦系数为0.005，而耐磨寿命很短。高真空中，薄膜寿命的突变可能与薄膜脱氢而结构发生变化有关。 |
| Keyword | 磁控溅射 A-c∶h 膜 真空度 摩擦学性能 Magnetron Sputtering A-c∶h Film Vacuum Degree Tribological Property |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金资助项目(50705093);创新群体基金资助项目(50421502) |
| Indexed By | EI ; CSCD |
| If | 0.385 |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Citation statistics |
Cited Times:1[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3525 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Corresponding Author | 冶银平 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 吴艳霞,李红轩,吉利,等. a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究[J]. 功能材料,2012,43(3):313-316. |
| APA | 吴艳霞.,李红轩.,吉利.,冶银平.,孙晓军.,...&周惠娣.(2012).a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究.功能材料,43(3),313-316. |
| MLA | 吴艳霞,et al."a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究".功能材料 43.3(2012):313-316. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 313-316-2012.PDF（775KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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