| Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
张广安 ; 吴志国; 王明旭; 范晓彦; 王君; 阎鹏勋
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| 2007 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 27Issue:3Pages:204-209 |
| Abstract | 采用柱状靶磁控溅射系统制备Al/AlN纳米多层膜,采用纳米压痕仪测量Al/AlN纳米多层膜的纳米硬度,在UMT-2M型摩擦磨损试验机上评价其摩擦磨损性能. 结果表明: 当AlN层较厚时, 薄膜在很短时间内被磨穿; 调节Al/AlN层厚比为2.9/1.1时, 薄膜的摩擦磨损性能明显提高;当保持Al/AlN层厚比为2.9/1.1、变化多层膜的调制周期时, 薄膜的摩擦系数较低, 但硬度较低的薄膜由于承载能力不够, 不能够保持优良的摩擦磨损性能. |
| Keyword | 磁控溅射 Al/aln多层膜 摩擦磨损性能 Magnetron Sputtering Al/aln Multilayer Friction And Wear Behavior |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 甘肃兰州理工大学有色金属新材料国家重点实验室(培育基地)开放课题资助(SKL04001);国家自然科学基金资助项目(60376039) |
| Indexed By | EI ; CSCD |
| Language | 中文 |
| Citation statistics |
Cited Times:7[CSCD]
[CSCD Record]
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| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/4153 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Corresponding Author | 吴志国 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张广安,吴志国,王明旭,等. Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究[J]. 摩擦学学报,2007,27(3):204-209. |
| APA | 张广安,吴志国,王明旭,范晓彦,王君,&阎鹏勋.(2007).Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究.摩擦学学报,27(3),204-209. |
| MLA | 张广安,et al."Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究".摩擦学学报 27.3(2007):204-209. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2007-204-209.pdf（877KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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