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| 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201510708221.9, 申请日期: 2018-06-29,
Inventors: 张斌 ; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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| 阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL201510704469.8, 申请日期: 2018-06-12,
Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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| 一种多层复合类富勒烯薄膜在汽车发动机上产业化的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201510705272.6, 申请日期: 2017-06-23, 公开日期: 2016-01-06
Inventors: 高凯雄; 张俊彦; 张斌; 强力; 王健
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| 栅极辅助柱状电弧离子镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520837539.2, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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| 箍缩磁场辅助磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840237.0, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors: 张斌; 张俊彦; 强力; 高凯雄; 王健
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| 阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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| 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840239.X, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors: 张斌; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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