| 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 | |
张斌 ; 张俊彦; 高凯雄; 强力; 王健
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| 2018-06-29 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Country | 中国 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Patent Number | ZL201510708221.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 已授权 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/24530 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张斌,张俊彦,高凯雄,等. 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置. ZL201510708221.9[P]. 2018-06-29. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置.pdf（109KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | ||
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