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柱塞表面类金刚石薄膜批量化沉积方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210550894.2, 申请日期: 2016-09-21, 公开日期: 2014-06-18
Inventors:  张俊彦;  张斌
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超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110425176.8, 申请日期: 2016-05-25, 公开日期: 2013-06-19
Inventors:  郝俊英;  郑建云
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一种类金刚石薄膜的磁靴增强磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520837488.3, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力
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箍缩磁场辅助磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840237.0, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  强力;  高凯雄;  王健
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阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840239.X, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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