| 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法 | |
郝俊英 ; 郑建云
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| 2016-05-25 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2013-06-19 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法。本发明采用直流磁控溅射物理气相沉积技术制备的TiN-TiCN多层复合薄膜材料，该薄膜薄膜厚度为9.5-24.0μm，质地均匀致密，表面光滑，弹性良好，附着性好，具有高的硬度和优异的抗磨损性能。可用于机械切割与钻孔的刀具和加工成型的模具上。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2011-12-16 |
| Patent Number | 201110425176.8 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN103160793A |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/21674 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 郝俊英,郑建云. 超厚TiN-TiCN多层复合薄膜材料的制备方法. 201110425176.8[P]. 2016-05-25. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2011104251768.pdf（380KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | ||
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