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Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness  
掺硅类金刚石薄膜的制备与表征 期刊论文
中国表面工程, 2010, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 41227
Authors:  赵飞;  李红轩;  吉利;  权伟龙;  周惠娣;  陈建敏
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R.f.pe Cvd  掺硅类金刚石薄膜  水环境  结合强度  摩擦因数  Si-doped Dlc  Water Environment  Adhesion Strength  Friction Coefficient  
PECVD制备a-C:H:N薄膜的微观结构研究 期刊论文
电子显微学报, 2004, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 431
Authors:  郝俊英;  徐洮;  李红轩;  刘维民;  刘惠文
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