| 掺硅类金刚石薄膜的制备与表征 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
赵飞; 李红轩 ; 吉利; 权伟龙; 周惠娣; 陈建敏
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| 2010 | |
| Source Publication | 中国表面工程
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| ISSN | 1007-9289 |
| Volume | 23Issue:4Pages:41227 |
| Abstract | 利用射频等离子增强化学气相沉积(R.F. PECVD)与非平衡磁控溅射相结合的技术，通过调节甲烷与氩气的比例，在不锈钢基底上制备了一系列硅含量不同的掺硅类金刚石(Si–DLC)薄膜。通过XPS谱图获得了各Si-DLC薄膜的化学组成及Si元素的相对含量。采用非接触式三维轮廓仪测量了薄膜的表面形貌、粗糙度和厚度。采用纳米压痕技术获得了各薄膜的纳米硬度。在UMT-2MT摩擦试验机采用划痕法评价了各薄膜的结合强度，并在CSM摩擦试验机上考察了各薄膜在空气及水环境下的摩擦学性能。结果表明，各薄膜的纳米硬度和结合强度有相似的变化规律，其最佳值均出现在CH4/Ar=5/6处；而当CH4/Ar=7/6时，薄膜在水环境下的摩擦学性能能得到显著提高，摩擦因数仅为0.012。 |
| Keyword | R.f.pe Cvd 掺硅类金刚石薄膜 水环境 结合强度 摩擦因数 Si-doped Dlc Water Environment Adhesion Strength Friction Coefficient |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(50705093及50575217);国家自然科学基金委创新群体基金(50421502);国家“973”计划(2007 CB607601) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/1141 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 赵飞,李红轩,吉利,等. 掺硅类金刚石薄膜的制备与表征[J]. 中国表面工程,2010,23(4):41227. |
| APA | 赵飞,李红轩,吉利,权伟龙,周惠娣,&陈建敏.(2010).掺硅类金刚石薄膜的制备与表征.中国表面工程,23(4),41227. |
| MLA | 赵飞,et al."掺硅类金刚石薄膜的制备与表征".中国表面工程 23.4(2010):41227. |
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