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栅极辅助柱状电弧离子镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520837539.2, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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箍缩磁场辅助磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840237.0, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  强力;  高凯雄;  王健
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阳极场辅磁控溅射镀膜装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520836093.1, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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具高功率脉冲离子源的磁控溅射装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: 201520840239.X, 申请日期: 2016-04-13, 公开日期: 2016-04-13
Inventors:  张斌;  张俊彦;  高凯雄;  强力;  王健
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