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中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2008, 卷号: 28, 期号: 2, 页码: 118-122
Authors:  张广安;  王鹏;  陈友明;  王霞;  阎鹏勋;  张俊彦
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中频磁控溅射  Al-dlc薄膜  摩擦磨损性能  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Al-dlc Thin Films  Tribological Properties  
Al/AlN多层膜的摩擦磨损性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 3, 页码: 204-209
Authors:  张广安;  吴志国;  王明旭;  范晓彦;  王君;  阎鹏勋
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磁控溅射  Al/aln多层膜  摩擦磨损性能  Magnetron Sputtering  Al/aln Multilayer  Friction And Wear Behavior