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Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness  
a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究 期刊论文
功能材料, 2012, 卷号: 43, 期号: 3, 页码: 313-316
Authors:  吴艳霞;  李红轩;  吉利;  冶银平;  孙晓军;  陈建敏;  周惠娣
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磁控溅射  A-c∶h 膜  真空度  摩擦学性能  Magnetron Sputtering  A-c∶h Film  Vacuum Degree  Tribological Property