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一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110439964.2, 申请日期: 2015-03-18, 公开日期: 2013-06-26
Inventors:  郝俊英;  郑建云
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直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85-90
Authors:  郑建云;  郝俊英;  刘小强;  龚秋雨;  刘维民
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直流磁控溅射  Tialcn薄膜  微观结构  硬度  摩擦行为  Direct Current Magnetron Sputtering  Tialcn Films  Microstructure  Hardness  Tribological Behaviours