| 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 | |
郝俊英 ; 郑建云
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| 2015-03-18 | |
| Rights Holder | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Date Available | 2013-06-26 |
| Country | 中国 |
| Abstract | 本发明公开了一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法。该方法是利用氮等离子体轰击TiN/TiCN多层复合薄膜，经过处理的TiN/TiCN多层复合薄膜机械性能无明显变化，但整体薄膜的应力得到改善，且内部的TiN层的摩擦系数和磨损率均显著降低。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
| Application Date | 2011-12-23 |
| Patent Number | 201110439964.2 |
| Language | 中文 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN103173731A |
| Patent Agent | 方晓佳 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/7174 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） |
| Affiliation | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 郝俊英,郑建云. 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法. 201110439964.2[P]. 2015-03-18. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 2011104399642.pdf（319KB） | 专利 | 授权 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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