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| Influence of flow ratio on mechanical and tribological properties of hydrogenated carbon nitride films prepared by DC-RF-PECVD 期刊论文
Journal of Physics D: Applied Physics, 2006, 卷号: 39, 页码: 1149–1155
Authors: Hao JY(郝俊英) ; Xu T(徐洮); Zhang JY(张俊彦); Liu WM(刘维民); Liu WM(刘维民)
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| Preparation and characterization of hydrogenated carbon nitride films synthesized by dual DC-RF plasms system 期刊论文
Materials and Science Engineering A, 2005, 卷号: 408, 页码: 297-302
Authors: Hao JY(郝俊英); Xu T(徐洮); Liu WM(刘维民); Liu WM(刘维民)
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Carbon Nitride Films Pecvd Composition Mechanical Properties |
| Effect of deposition pressure on microstructure and properties of hydrogenated carbon nitride films prepared by DC-RF-PECVD 期刊论文
Journal of Non-Crystalline Solids, 2005, 卷号: 351, 页码: 3671-3676
Authors: Hao JY(郝俊英); Xu T(徐洮); Liu WM(刘维民); Liu WM(刘维民)
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| PECVD制备a-C:H:N薄膜的微观结构研究 期刊论文
电子显微学报, 2004, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 431
Authors: 郝俊英; 徐洮; 李红轩; 刘维民; 刘惠文
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| 摩擦副材料对非晶含氢碳薄膜摩擦学性能的影响 期刊论文
摩擦学学报, 2004, 卷号: 24, 期号: 6, 页码: 483-487
Authors: 李红轩; 徐洮; 郝俊英; 陈建敏; 周惠娣; 刘惠文
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非晶含氢碳膜 等离子体增强化学气相沉积 摩擦偶件材料 摩擦学性能 |
| Effect of applied dc bias voltage on the composition, chemical bonding and mechanical properties of carbon nitride films prepared by PECVD 期刊论文
Transactions of Nonferrous Metals Society of China, 2004, 卷号: 14, 页码: 222-228
Authors: Li HX(李红轩); Xu T(徐洮); Hao JY(郝俊英); Chen JM(陈建敏); Zhou HD(周蕙娣); Xue QJ(薛群基); Liu HW(刘惠文)
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| 类金刚石薄膜的摩擦学特性及磨损机制研究进展 期刊论文
材料科学与工程学报, 2004, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 774-777
Authors: 李振军; 徐洮; 李红轩; 郝俊英; 周惠娣; 陈建敏
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类金刚石薄膜 摩擦学特性 磨损机制 化学气相沉积 |
