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氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响 期刊论文
真空与低温, 2023, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 28-35
Authors:  闫巨擘;  赖振国;  张斌
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磁控溅射  耐腐蚀性能  硬度  （BCSiAlCr）Nx薄膜  力学性能  
利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术 期刊论文
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
Authors:  魏徐兵;  尚伦霖;  鲁志斌;  张广安
Adobe PDF(7668Kb)  |  Favorite  |  View/Download：120/2  |  Submit date：2020/11/30
等离子体增强化学气相沉积  超厚类金刚石碳膜  快速沉积  耐磨损  耐腐蚀