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Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness  
直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 1, 页码: 85-90
Authors:  郑建云;  郝俊英;  刘小强;  龚秋雨;  刘维民
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直流磁控溅射  Tialcn薄膜  微观结构  硬度  摩擦行为  Direct Current Magnetron Sputtering  Tialcn Films  Microstructure  Hardness  Tribological Behaviours