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| 超低摩擦硅铝二元掺杂非晶碳薄膜的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110425150.3, 申请日期: 2015-07-08, 公开日期: 2013-06-19
Inventors: 郝俊英 ; 刘小强
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| 一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110439964.2, 申请日期: 2015-03-18, 公开日期: 2013-06-26
Inventors: 郝俊英; 郑建云
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| 沉积温度对钛硅共掺杂类金刚石薄膜生长、结构和力学性能的影响 期刊论文
物理学报, 2014, 卷号: 63, 期号: 2, 页码: 028104(1-7)
Authors: 姜金龙; 黄浩; 王琼; 王善民; 魏智强; 杨华; 郝俊英
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类金刚石薄膜 共掺杂 沉积温度 结构与性能 Diamond-like Carbon Film Deposition Temperature Co-doping Structure And Properties |
| 等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2006
Authors: 郝俊英
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A-cnxh 薄膜 Pecvd 硬度 弹性模量 耐热耐蚀性 摩擦磨损行为 A-cnxh Films Hardness And Elastic Modulus Thermal Stability And Corrosion-resistant Properties Friction And Wear Behavior |
