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a-C:H 膜在不同真空度下的摩擦学行为研究 期刊论文
功能材料, 2012, 卷号: 43, 期号: 3, 页码: 313-316
Authors:  吴艳霞;  李红轩;  吉利;  冶银平;  孙晓军;  陈建敏;  周惠娣
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磁控溅射  A-c∶h 膜  真空度  摩擦学性能  Magnetron Sputtering  A-c∶h Film  Vacuum Degree  Tribological Property  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties