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CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能 期刊论文
中国表面工程, 2012, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 34-41
Authors:  付英英;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  周惠娣;  陈建敏
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磁控溅射  Crn薄膜  Craln薄膜  摩擦磨损  Magnetron Sputtering  Crn Film  Craln Film  Friction And Wear  
氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 4, 页码: 7-12
Authors:  吕艳红;  孔庆花;  吉利;  李红轩;  刘晓红;  陈建敏;  周惠娣
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磁控溅射  Craln 薄膜  微观结构  硬度  腐蚀  Magnetron Sputtering  Craln Film  Microstructre  Hardness  Corrosion  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties