| CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 ; 先进润滑与防护材料研究发展中心 |
付英英 ; 李红轩; 吉利; 刘晓红; 周惠娣; 陈建敏
| |
| 2012 | |
| Source Publication | 中国表面工程
 |
| ISSN | 1007-9289 |
| Volume | 25Issue:6Pages:34-41 |
| Abstract | 采用中频非平衡反应磁控溅射技术在单晶硅P(111)和不锈钢(1Cr18Mn8Ni5N)基材上制备了CrN和CrAlN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱仪(XPS)、原子力显微镜(AFM)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)和纳米压痕仪对薄膜的相结构、化学组成、表面形貌、断面结构和力学性能进行了测试分析。利用球-盘式摩擦磨损试验机(CSM)考察了两种薄膜在不同介质(空气、自来水、oil-1(TAO-40)及oil-2(150BS)中和Al2O3球对磨的摩擦学性能。结果表明：CrN薄膜中Al元素的掺杂并未改变薄膜晶体结构，但却降低了薄膜的表面粗糙度、增强了薄膜的致密性、提高了薄膜的力学性能、改善了水润滑和油润滑条件下薄膜的摩擦学性能。由于CrN和CrAlN薄膜的摩擦磨损性能显著依赖于测试介质，因此重点讨论了它们在不同介质中的摩擦磨损机理。 |
| Keyword | 磁控溅射 Crn薄膜 Craln薄膜 摩擦磨损 Magnetron Sputtering Crn Film Craln Film Friction And Wear |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Funding Organization | 国家自然科学基金(51175491);中国科学院创新群体基金(50421502) |
| Indexed By | CSCD |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 磨损和表面工程组 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/3550 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 中国科学院材料磨损与防护重点实验室/先进润滑与防护材料研究发展中心 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 付英英,李红轩,吉利,等. CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能[J]. 中国表面工程,2012,25(6):34-41. |
| APA | 付英英,李红轩,吉利,刘晓红,周惠娣,&陈建敏.(2012).CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能.中国表面工程,25(6),34-41. |
| MLA | 付英英,et al."CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能".中国表面工程 25.6(2012):34-41. |
| Files in This Item: | ||||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 34-41-2012.pdf（1775KB） | 开放获取 | License | View Application Full Text | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment