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金属掺杂类金刚石薄膜的设计制备、结构及摩擦学性能研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2017
Authors:  韩熙
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Dlc  金属掺杂  微观结构  机械性能  摩擦学性能  Me-doping  Microstructure  Mechanical Properties  Tribological Properties  
磁控溅射制备氢化硅薄膜及其特性研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
Authors:  王林青
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氢化硅薄膜  磁控溅射  辅助离子束  磷掺杂  硼掺杂  Hydrogenated Si Thin Films  Magnetron Sputtering  Assisted Ion Beam  P-doping  B-doping  
碳基纳米复合薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2008
Authors:  王鹏
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类金刚石薄膜  功能梯度  纳米复合  类富勒烯碳膜  力学性能  摩擦学性能  Diamond-like Carbon Film  Functional Gradient Layer  Nanocomposite  Fullerene-like Carbon Film  Mechanical Properties  Tribological Properties