金属掺杂类金刚石薄膜的设计制备、结构及摩擦学性能研究 | |
韩熙1,2 | |
Subtype | 工学硕士 |
Thesis Advisor | 郝俊英 |
2017-05-23 | |
Degree Grantor | 中国科学院大学 |
Place of Conferral | 北京 |
Department | 固体润滑国家重点实验室 |
Degree Discipline | 材料学 |
Keyword | Dlc 金属掺杂 微观结构 机械性能 摩擦学性能 Me-doping Microstructure Mechanical Properties Tribological Properties |
Abstract | 本论文综述了磁控溅射技术和类金刚石薄膜(Diamond-like carbon based films,简称DLC)的研究进展。以此确定了研究思路,用射频磁控溅射技术制备了金属掺杂DLC薄膜(Ti-DLC、Mo-DLC及Al-DLC薄膜),研究了它们的组成、结构、性能以及其相互的关系规律。主要研究结果如下: 1.在不同射频功率下制备出了一系列纳米碳环/Ti-DLC多层复合薄膜。分析了薄膜的成分和金属元素含量,定性、定量分析了薄膜中的纳米碳环结构,并考察了其机械和摩擦学性能。结果表明:所制备的薄膜的中金属元素含量较低(小于1.5 at.%),且是以原子形式存在,对薄膜的性能影响较小;而纳米碳环对薄膜的性能有着显著的影响。当薄膜中纳米碳环相对含量较高时,薄膜表现出较低的摩擦系数(0.028)和磨损率(3.54×10-7 mm3/Nm)、良好的弹性恢复率(66%)及较低的硬度(9.8GPa)。 2.在不同基底偏压下制备出了一系列Mo-DLC薄膜。考察了基底偏压对于薄膜结构和性能的影响。结果表明:当基底偏压从-900 V增加到-1100 V时,能量粒子的刻蚀作用随之增强,使得薄膜厚度从1.68 μm减小到了1.09 μm,而薄膜中金属元素含量、薄膜的纳米硬度和弹性模量受偏压影响较小。而基底偏压增加对薄膜的内应力有着显著影响,当基底偏压增大时,内应力由-0.31 GPa增加到了-1.05GPa。在适当的偏压下,薄膜表现出较小的摩擦系数和磨损率。 3.制备了一系列Al含量不同的Al-DLC薄膜。通过调控射频功率并改变薄膜中Al元素含量,考察了Al掺杂对与薄膜成分、结构和摩擦学性能的影响。结果表明:Al元素掺杂使得薄膜中的sp3-C生长受到抑制,sp2-C增加。当Al元素含量由0.21 at.%上升到0.43 at.%时,薄膜的纳米硬度从18.5 GPa下降到了16.1 GPa,但薄膜表面石墨化程度增强,吸附水分子能力增强,在水介质下的摩擦阻力变小,从而使得摩擦磨损减小。在Al元素含量适量时,Al-DLC薄膜在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能。 |
Subject Area | 薄膜材料与技术 |
Funding Project | 空间润滑材料研究组 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/22611 |
Collection | 固体润滑国家重点实验室(LSL) |
Affiliation | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 2.中国科学院大学 |
First Author Affilication | Lanzhou Institute of Chemical Physics,Chinese Academy of Sciences |
Recommended Citation GB/T 7714 | 韩熙. 金属掺杂类金刚石薄膜的设计制备、结构及摩擦学性能研究[D]. 北京. 中国科学院大学,2017. |
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201732韩熙.pdf(3943KB) | 学位论文 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text |
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