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Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究 期刊论文
摩擦学学报, 2017, 卷号: 37, 期号: 3, 页码: 310-317
Authors:  韩熙;  郑建云;  张帅拓;  刘金玉;  郝俊英
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类金刚石薄膜  Al掺杂  Sp3结构  水介质  Dlc Films  Al-doping  Sp3-c  Water  
Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness