| Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究 | |
| Department | 固体润滑国家重点实验室 |
韩熙1,2; 郑建云1,3 ; 张帅拓1; 刘金玉1,2; 郝俊英1
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| The second department | 青岛研发中心/青岛市资源化学与新材料研究中心 |
| 2017 | |
| Source Publication | 摩擦学学报
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| ISSN | 1004-0595 |
| Volume | 37Issue:3Pages:310-317 |
| Abstract | 采用磁控溅射技术，以Al为溅射靶材，甲烷为溅射气体，在不同射频功率下制备了一系列Al含量不同的类金刚石碳基薄膜(AL-DLC). 分析了Al含量对薄膜成分、结构及机械性能的影响，并探讨了其在空气和水介质下的摩擦磨损行为. 结果表明：Al掺杂使得薄膜中sp3-C的生长受到抑制，sp2-C增加，表面吸附水分子能力变强，在水介质摩擦过程中的剪切阻力变小，从而使得摩擦磨损减小. 通过调整射频功率可以对薄膜中Al含量进行调控，在最优Al含量时，Al-DLC在空气和水介质中均具有优异的摩擦学性能. |
| Keyword | 类金刚石薄膜 Al掺杂 Sp3结构 水介质 Dlc Films Al-doping Sp3-c Water |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| DOI | 10.16078/j.tribology.2017.03.005 |
| Funding Organization | 国家重点基础研究发展规划项目(973)(2013CB632302);国家自然科学基金项目(51375471);青岛市自主创新计划(16-5-1-97-jch) |
| Indexed By | EI&CSCD |
| If | 0.9261(CSCD-JCR) |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 空间润滑材料研究组 |
| compositor | 第一作者单位 |
| Citation statistics | |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/22554 |
| Collection | 固体润滑国家重点实验室（LSL） 青岛研发中心/青岛市资源化学与新材料研究中心 |
| Corresponding Author | 郑建云; 郝俊英 |
| Affiliation | 1.中国科学院兰州化学物理研究所 固体润滑国家重点实验室，甘肃 兰州 730000 2.中国科学院大学，北京 100049 3.青岛市资源化学与新材料研究中心，山东 青岛 266000 |
| Corresponding Author Affilication | Lanzhou Institute of Chemical Physics，Chinese Academy of Sciences |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 韩熙,郑建云,张帅拓,等. Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究[J]. 摩擦学学报,2017,37(3):310-317. |
| APA | 韩熙,郑建云,张帅拓,刘金玉,&郝俊英.(2017).Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究.摩擦学学报,37(3),310-317. |
| MLA | 韩熙,et al."Al-DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学性能研究".摩擦学学报 37.3(2017):310-317. |
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| Al_DLC薄膜结构及其在水介质下摩擦学（895KB） | 期刊论文 | 作者接受稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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