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非平衡磁控溅射沉积类石墨碳膜结构及其摩擦学性能 期刊论文
中国表面工程, 2011, 卷号: 24, 期号: 3, 页码: 17-22
Authors:  王永军;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  吴艳霞;  周惠娣;  陈建敏
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类石墨碳膜  磁控溅射  摩擦磨损  Graphite-like Carbon Film  Microstructure  Tribological Properties  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties