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Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
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磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness  
CrN和CrAlN薄膜的微观结构及在不同介质中的摩擦学性能 期刊论文
中国表面工程, 2012, 卷号: 25, 期号: 6, 页码: 34-41
Authors:  付英英;  李红轩;  吉利;  刘晓红;  周惠娣;  陈建敏
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磁控溅射  Crn薄膜  Craln薄膜  摩擦磨损  Magnetron Sputtering  Crn Film  Craln Film  Friction And Wear