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多晶薄膜X-射线衍射 期刊论文
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 135-142
Authors:  丛秋滋;  欧阳明安;  于德洋;  张平余;  赵家政
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X-射线衍射  多晶薄膜  相结构测量  X-ray Diffraction  Pleomorphic Thin Film  Measurement Of Phase Structure  
工艺参数对PECVD TiN镀层性能的影响 期刊论文
固体润滑, 1991, 卷号: 11, 期号: 1, 页码: 51-62
Authors:  张平余;  刘洪;  丛秋滋;  张绪寿;  王秀娥;  顾则鸣
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等离子体增强化学气相沉积  Tin镀层  物理机械性能  摩擦学性能  晶体学特征  沉积参数  Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (Pecvd)  Tin coaTing  Physic-mechanical Properties  Tribological Characteristic  Crystallinity  Deposition Parameters  
在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性 期刊论文
真空科学与技术, 1988, 卷号: 8, 期号: 3, 页码: 195-200
Authors:  丛秋滋;  于德洋;  张平余;  李陇绪
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