| 在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性 | |
| Department | 非现建制 |
| 丛秋滋; 于德洋; 张平余; 李陇绪 | |
| 1988 | |
| Source Publication | 真空科学与技术
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| ISSN | 1672-7126 |
| Volume | 8Issue:3Pages:195-200 |
| Abstract | 本文用X射线衍射方法研究离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性。该膜是在起始底材温度(Ts)低于200 ℃以下离子镀在9Cr18不锈钢上。本文揭示在其他离子镀参数一定的条件下, 底材温度Ts愈低, TiN膜愈呈现(220)择优取向, 伴随着晶粒变小、晶格缺陷增大、临界负荷降低等缺点; 而当Ts较高时, TiN膜呈现(200)择优取向, 此时膜的性能优越得多。 |
| Subject Area | 材料科学与物理化学 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.licp.cn/handle/362003/6152 |
| Collection | 非现建制 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 丛秋滋,于德洋,张平余,等. 在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性[J]. 真空科学与技术,1988,8(3):195-200. |
| APA | 丛秋滋,于德洋,张平余,&李陇绪.(1988).在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性.真空科学与技术,8(3),195-200. |
| MLA | 丛秋滋,et al."在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学特性".真空科学与技术 8.3(1988):195-200. |
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| 在较低底材温度下离子镀氮化钛薄膜的晶体学（413KB） | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |||
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