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超低摩擦硅铝二元掺杂非晶碳薄膜的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110425150.3, 申请日期: 2015-07-08, 公开日期: 2013-06-19
Inventors:  郝俊英;  刘小强
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一种改善TiN/TiCN多层复合薄膜材料性能的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201110439964.2, 申请日期: 2015-03-18, 公开日期: 2013-06-26
Inventors:  郝俊英;  郑建云
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等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2006
Authors:  郝俊英
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A-cnxh 薄膜  Pecvd  硬度  弹性模量  耐热耐蚀性  摩擦磨损行为  A-cnxh Films  Hardness And Elastic Modulus  Thermal Stability And Corrosion-resistant Properties  Friction And Wear Behavior