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掺硅类金刚石薄膜的制备与表征 期刊论文
中国表面工程, 2010, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 41227
Authors:  赵飞;  李红轩;  吉利;  权伟龙;  周惠娣;  陈建敏
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R.f.pe Cvd  掺硅类金刚石薄膜  水环境  结合强度  摩擦因数  Si-doped Dlc  Water Environment  Adhesion Strength  Friction Coefficient  
射频功率对类金刚石薄膜结构和性能的影响 期刊论文
物理学报, 2005, 卷号: 54, 期号: 4, 页码: 1885-1889
Authors:  李红轩;  徐洮;  陈建敏;  周惠娣;  刘惠文
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等离子增强化学气相沉积  类金刚石薄膜  射频功率  结构和性能  Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition  Diamond-like Carbon Films  Rf Power  Structure And Properties