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利用PECVD 快速沉积超厚类金刚石碳基薄膜技术 期刊论文
真空与低温, 2020, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 402-409
Authors:  魏徐兵;  尚伦霖;  鲁志斌;  张广安
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等离子体增强化学气相沉积  超厚类金刚石碳膜  快速沉积  耐磨损  耐腐蚀  
用于微结构气体探测器的类金刚石碳阻性电极制备研究 期刊论文
原子能科学技术, 2020, 卷号: 54, 期号: 6, 页码: 968-974
Authors:  尚伦霖;  周意;  吕游;  张广安;  李文生
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微结构气体探测器  类金刚石碳阻性电极  面电阻  
磁控溅射沉积 TiB2/DLC 纳米多层膜的结构及其机械性能研究 期刊论文
润滑与密封, 2017, 卷号: 42, 期号: 12, 页码: 56-63
Authors:  任宁;  何东青;  张广安
Adobe PDF(3360Kb)  |  Favorite  |  View/Download：76/3  |  Submit date：2019/01/22