Chinese | English

Search in the results

LICP OpenIR

Browse/Search Results:  1-2 of 2 Help

Selected(0)Clear Items/Page:    Sort:
氮流量对六方氮化硼(hBN)薄膜结构和力学性能的影响 期刊论文
表面技术, 2023, 卷号: 12, 期号: 7, 页码: 1-8
Authors:  张丽红;  张斌;  高凯雄
Adobe PDF(913Kb)  |  Favorite  |  View/Download：12/1  |  Submit date：2023/12/07
hBN薄膜  B靶  N2流量  力学性能  卷曲结构  
Ｎ2 流量对中频非平衡磁控溅射ＴｉＡｌＮ薄膜结构及性能的影响 期刊论文
功能材料, 2013, 卷号: 44, 期号: 1, 页码: 32-35
Authors:  吴劲峰;  何乃如;  邱孟柯;  吉利;  李红轩;  黄小鹏
Adobe PDF(880Kb)  |  Favorite  |  View/Download：305/3  |  Submit date：2013/12/10
磁控溅射  Tialn 薄膜  N2 流量  微观结构  硬度  Magnetron Sputtering  Tialn Films  Nitrogen Flow  Microstructure  Hardness