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钨铝共掺杂含氢非晶碳薄膜的设计、制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2013
Authors:  龚秋雨
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含氢非晶碳薄膜  中频磁控溅射  共掺杂  结合强度  摩擦与磨损  Hydrogenated Amorphous Carbon Films  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Co-doping  Adhesion Strength  Friction And Wear  
氮化铬硬质膜的制备及其性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2011
Authors:  孔庆花
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Crnx薄膜  中频脉冲磁控溅射  工艺参数  微观结构  摩擦学性能  Crnx Films  Medium Frequency Pulse Magnetron Sputtering  Deposition Parameters  Microstructure  Tribological Properties  
磁控溅射沉积BCN薄膜结构及其在离子液体润滑下的摩擦磨损性能研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
Authors:  陈友明
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Bcn薄膜  中频磁控溅射  微观结构  离子液体润滑  摩擦磨损行为  Bcn Film  Medium Frequency Magnetron Sputtering  Microstructure  Ionic Liquids Lubricant  Friction And Wear Behavior